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产品[
住友立式臭氧发生器
]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
住友立式臭氧发生器
产品型号:
GRP Series
产品展商:
其它品牌
简单介绍
住友立式臭氧发生器
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友立式臭氧发生器
住友立式臭氧发生器的详细介绍
住友立式臭氧发生器
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友立式臭氧发生器
应用：
1.半导体器件
2.Si/复合晶圆
3.FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
4.光罩
5.发光二极管
具体规格
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臭氧气体流速
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1.5L/min to 5L/min
[at 350g/m3(N)]
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臭氧气体供应压力
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*大0.3MPa
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冷却水温度
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20°C±2°C
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氮掺杂比
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0.1%(volume)against oxygen
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尺寸
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W483mm x D453mm x H266mm
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重量
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30 到 40kg
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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特征：
高浓度；高达400g/m3（N），高压；*大0.3Mpa
19英寸机架尺寸标准型号
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
管道材料；从316LSS或PFA中选择
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