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产品[

住友臭氧发生仪

]资料
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产品名称: 住友臭氧发生仪
产品型号: SGRP-03JS
产品展商: 其它品牌
简单介绍
住友臭氧发生仪 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。 住友臭氧发生仪


住友臭氧发生仪的详细介绍

住友臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧发生仪



住友臭氧发生仪应用:

半导体器件

Si/复合晶圆

FDPLTPSHTPSTFT、彩色滤光片、OLED

光罩

发光二极管

 

住友臭氧发生仪具体信息:

SGRP-03JS

 

臭氧气体流速

350g/m3(N)

臭氧气体供应压力

15L/min (5L/min x 3Line)

冷却水温度

20°C±2°C

 

尺寸

W570mm x D850mm x H1,870mm

重量

360kg

功率

200-220VAC, 3-phase


SGRF-03JA

 

臭氧气体流速

400g/m3(N)

臭氧气体供应压力

20L/min

冷却水温度

5°C

 

尺寸

W570mm x D850mm x H1,836mm

重量

350kg

功率

200-220VAC, 3-phase

优势:能够通过单独控制向大容量臭氧气体提供一条管线或多条管线。

高浓度;高达400g/m3N

产品线丰富;小到大容量。

高压;*大0.3MpaSGRP系列)

无氮掺杂(SGRF系列)

高压耐受,长寿命放电单元

快速启动,快速响应

与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度

CENRTL、半标准适用

管道材料;从316LSSPFA中选择


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