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产品[

住友臭氧发生仪器

]资料
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产品名称: 住友臭氧发生仪器
产品型号: GRP Series
产品展商: 其它品牌
简单介绍
住友臭氧发生仪器 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。 住友臭氧发生仪器


住友臭氧发生仪器的详细介绍

住友臭氧发生仪器

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。


住友臭氧发生仪器


应用:
1.半导体器件
2.Si/复合晶圆
3.FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED)
4.光罩
5.发光二极管

具体规格

臭氧气体流速

1.5L/min to 5L/min 
[at 350g/m3(N)]

臭氧气体供应压力

*大0.3MPa

冷却水温度

20°C±2°C

氮掺杂比

0.1%(volume)against oxygen

尺寸

W483mm x D453mm x H266mm

重量

30  40kg

功率

200-220VAC, 3-phase


特征:

高浓度;高达400g/m3N),高压;*大0.3Mpa

19英寸机架尺寸标准型号

高压耐受,长寿命放电单元

快速启动,快速响应

与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度

CENRTL、半标准适用

管道材料;从316LSSPFA中选择



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