日本ebara半导体臭氧监测仪特征：
· 采用delta-sigma计算方法，大大提高了可靠性和响应性。
· 检测部分和控制部分的分离增加了安装和安装的自由度。
· 连续性测量提高了注意力的跟随性
· 采用特殊的单元结构，可实现低压力损失和大流量测量
· 高压和高压电池的开发使在线工艺中的应用成为可能。
· 实现广泛的浓度范围
· 提供范围广泛的输入/输出信号
· 采用高度可靠的紫外吸收法作为测量原理。
*1 关于检测器型号
① SH5 型：高密闭、超高浓度、高压规格
② SH 型：高浓度、高压规格
③ SM 型：全聚四氟乙烯、石英规格（接液气液部分）
*2 选择请从浓度范围列表中。对于未列出的浓度，请联系我们。
(1) 500g/m3(N)和1000g/m3(N)无压力补偿。
(2) 2000g/m3(N)以上浓度范围为减压补偿（选件）。
*3 需要样气（水）压力。根据测量条件，可以使用外部泵进行抽吸。
*4 即使流量小于指定流量，例如 0.1 L/min 或更少，也可以测量，但可能会分解臭氧并延迟响应时间。
*5 每天调整一次零点。（使用臭氧源气体/水进行校正。）
*6 除了标准 I/F 电缆外，还提供 3、5、10 和 15 m。(选件)
*7 详细规格请参照规格书。
